Apparatus for and method of transferring substrates

   
   

A substrate transfer apparatus capable of preventing contaminants from sticking to a substrate again when the substrate is unloaded, wherein a first support member and a second support member are provided on an arm, the first support member supporting the substrate when the substrate is loaded into a processing machine and the second support member supporting the substrate when the substrate is unloaded from the processing machine.

Прибор переноса субстрата способный предотвращать загрязняющьи елементы от вставлять к субстрату снова когда субстрат расгружен, при котором первый член поддержки и второй член поддержки обеспечены на рукоятке, первом члене поддержки поддерживая субстрат когда субстрат нагружен в обрабатывая машину и второй член поддержки поддерживая субстрат когда субстрат расгружен от обрабатывая машины.

 
Web www.patentalert.com

< Method for fine tuning of a robot program

< Heated nozzle assembly

> Arm cart for telerobotic surgical system

> Microwrist system for surgical procedures

~ 00152