A suspended thin-film resistor and methods for producing the same are
disclosed. In one embodiment, a device is produced by depositing a first
and second contact on a substrate, depositing a sacrificial material on
the substrate at a location between the first and second contacts,
depositing a thin-film resistor over the first and second contacts and the
sacrificial material, and thermally decomposing the sacrificial material.
Un resistore di sottili pellicole sospeso ed i metodi per produrre lo stesso sono rilevati. In un incorporamento, un dispositivo รจ prodotto depositando un primo e secondo contatto su un substrato, depositante un materiale sacrificial sul substrato ad una posizione fra i primi e secondi contatti, depositanti un'eccedenza di sottili pellicole del resistore i primi e secondi contatti ed il materiale sacrificial e decomponenti termicamente il materiale sacrificial.
