A F.sub.2 laser includes a laser tube filled with a laser gas mixture at
least including molecular fluorine for generating a spectral emission
including multiple closely-spaced lines in a wavelength range between 157
nm and 158 nm, including a first line centered around 157.62 nm and a
second line centered around 157.52 nm, multiple electrodes within the
discharge chamber connected with a power supply circuit for energizing the
molecular fluorine, a laser resonator including a line selection unit for
selecting one of the first and second lines of the multiple closely spaced
lines and for supressing the other of the first and second lines, for
generating a narrow bandwidth VUV output beam, and at least one
intracavity polarizing element. The narrow bandwidth VUV output beam is
polarized at least 95%, and may be 98% or more.
Een laser F.sub.2 omvat een laserbuis die met een mengsel van het lasergas op zijn minst met inbegrip van moleculair fluor voor het produceren van een spectrale emissie met inbegrip van veelvoudige hechte lijnen wordt gevuld in een golflengtewaaier tussen 157 NM en 158 NM, met inbegrip van een eerste lijn die rond 157.62 NM wordt gecentreerd en een tweede lijn die rond 157.52 NM, veelvoudige elektroden binnen de lossingskamer wordt gecentreerd die aan een kring van de machtslevering voor het activeren van het moleculaire fluor, een laserresonator met inbegrip van een eenheid van de lijnselectie voor het selecteren van één van de eerste en tweede lijnen van het veelvoud wordt verbonden plaatsten dicht lijnen en voor het supressing van andere van de eerste en tweede lijnen, voor het produceren van een smalle bandbreedtevuv outputstraal, en minstens uit elkaar De smalle bandbreedtevuv outputstraal is gepolariseerd minstens 95%, en kan zijn 98% of meer.
