A method is disclosed for processing a silicon workpiece including a hybrid
thermometer system for measuring and controlling the processing
temperature where fabrication materials have been or are being applied to
the workpiece. The hybrid thermometer system uses optical reflectance and
another thermometer technique, such as a thermocouple and/or a pyrometer.
Real-time spectral data are compared to values in a spectrum library to
determine the "surface conditions". A decision is then made based on the
surface conditions as to how the temperature is measured, e.g., with
optical reflectance, a pyrometer, or a thermocouple, and the temperature
is measured using the appropriately selected technique. Utilizing the
hybrid thermometer system, the temperature of a silicon workpiece may be
accurately measured at low temperatures while accounting for the presence
of fabrication materials.
Um método é divulgado processando um workpiece do silicone including um sistema hybrid do termômetro para medir e controlar a temperatura processando onde os materiais da fabricação foram ou estão sendo aplicados ao workpiece. O sistema hybrid do termômetro usa a reflectância ótica e uma outra técnica do termômetro, tal como um thermocouple e/ou um pirômetro. Os dados spectral real-time são comparados aos valores em uma biblioteca do spectrum para determinar "as circunstâncias de superfície". Uma decisão é feita então baseado nas circunstâncias de superfície a respeito de como a temperatura é medida, por exemplo, com reflectância ótica, um pirômetro, ou um thermocouple, e a temperatura é medida usando a técnica apropriadamente selecionada. Utilizando o sistema hybrid do termômetro, a temperatura de um workpiece do silicone puder exatamente ser medida em temperaturas baixas quando contabilidade para a presença de materiais da fabricação.
