The present invention relates to a method for forming an optical blank. The
method includes providing a green body that has a non-porous exterior
portion and a porous interior portion. The interior portion is evacuated
to create a vacuum in the interior portion. The green body is then pressed
using a hot isostatic pressing technique to densify the green body into a
solid glass optical blank. This method produces homogeneous optical blanks
having substantially no striae. The method also produces dense, inclusion
free glass. As a result, scattering is substantially reduced when EUV
light is reflected from a component produced from optical blank employing
the method of the present invention.
La actual invención se relaciona con un método para formar un espacio en blanco óptico. El método incluye el abastecimiento de un cuerpo verde que tenga una porción exterior no porosa y una porción interior porosa. La porción interior se evacua para crear un vacío en la porción interior. El cuerpo verde entonces se presiona usando una técnica acuciante isostatic caliente densify el cuerpo verde en un espacio en blanco óptico de cristal sólido. Este método produce los espacios en blanco ópticos homogéneos que no tienen substancialmente ninguna estría. El método también produce denso, cristal libre de la inclusión. Consecuentemente, la dispersión se reduce substancialmente cuando la luz de EUV se refleja de un componente producido del espacio en blanco óptico que emplea el método de la actual invención.