A projection optical system for projecting a pattern of a first object onto
a second object, wherein the projection optical system is provided with a
birefringence correcting system for correcting birefringence of an optical
element of the projection optical system.
Система проекции оптически для проектировать картину первого предмета на второй предмет, при котором система проекции оптически обеспечена при birefringence исправляя систему для исправлять birefringence оптически элемента системы проекции оптически.
