A modular frame assembly for a wafer fabrication system comprising at least
one base casting and at least one upstanding pod door opening casting. The
at least one base casting and at least one upstanding pod door opening
casting are self registering and allow frames for wafer fabrication
systems of any normally desired configuration to be produced out of a
small number of cast modules. More specifically, in a preferred
embodiment, frames configured to mate with one to four commercially
available loaders may be readily assembled out of the aluminum castings.
Um conjunto de frame modular para um sistema da fabricação do wafer que compreende ao menos uma carcaça baixa e ao menos uma carcaça upstanding da abertura da porta do pod. A ao menos uma carcaça baixa e ao menos uma carcaça upstanding da abertura da porta do pod são self que regista e permitem que os frames para sistemas da fabricação do wafer de toda a configuração normalmente desejada sejam produzidos fora de um número pequeno dos módulos moldados. Mais especificamente, em uma incorporação preferida, os frames configurarados ao mate com os um a quatro carregadores comercialmente disponíveis podem prontamente ser montados fora das carcaças de alumínio.
