Integrated surface metrology

   
   

This invention is an instrument adaptable for integration into a process tool the combines a number of instruments for surface characterization. As an integrated process monitor, the invention is capable of monitoring surface dishing, surface erosion and thickness of residue layers on work-pieces with little time delay. The invention is adaptable to making measurements while a wafer or work-piece is either wet or dry. A preferred embodiment includes an integrated optical profiler adapted to surface profiling in the presence of optical interference arising from retro-reflections from underlying optical non-uniformities Alternate embodiments include an integrated stylus profiler with vibration isolation.

Esta invenção é um instrumento adaptable para a integração em uma ferramenta process as ligas um número de instrumentos para a caracterização de superfície. Porque um monitor process integrado, a invenção é capaz de monitorar a superfície que torna côncava, a erosão e a espessura de superfície de camadas do resíduo em work-pieces com pouca hora atrasam. A invenção é adaptable a fazer medidas quando um wafer ou um work-piece estiverem molhado ou seco. Uma incorporação preferida inclui um profiler ótico integrado adaptado à superfície que perfila na presença da interferência ótica que levanta-se das retro-reflexões das non-uniformidades que óticas subjacentes as incorporações alternas incluem um profiler integrado do estilete com isolação de vibração.

 
Web www.patentalert.com

< Small spot spectroscopic ellipsometer with refractive focusing

< Sensor detecting attenuated total reflection angle by using semiconductor laser unit driven with driving current on which high frequency component is superimposed

> Method for evaluating complex refractive indicies utilizing IR range ellipsometry

> Apparatus for monitoring a fluid conduit

~ 00149