The integrated electromechanical microstructure comprises a base substrate
and a cavity closed by a protective cover. Means for adjusting the
pressure in the cavity after the protective cover has been sealed comprise
at least one element made of pyrotechnic material combustion whereof
releases gas into the cavity. The pressure in the cavity can thus be
adjusted independently from the sealing process. Selective ignition of the
elements made of pyrotechnic material can be achieved by heating
electrical resistors or by laser beams coming from outside the
microstructure and directed selectively towards the elements made of
pyrotechnic material through a transparent zone of the protective cover.
De geïntegreerde elektromechanische microstructuur bestaat uit een basissubstraat en uit een holte die door een beschermende dekking wordt gesloten. De middelen om de druk in de holte aan te passen nadat de beschermende dekking is verzegeld bestaan minstens uit één element dat van pyrotechnic materiële gas van verbrandings whereof versies in de holte wordt gemaakt. De druk in de holte kan zo onafhankelijk van het het verzegelen procédé worden aangepast. De selectieve ontsteking van de elementen die van pyrotechnic materiaal worden gemaakt kan door elektroweerstanden te verwarmen of door laserstralen worden bereikt die van buiten de microstructuur komen en selectief naar de elementen worden geleid die van pyrotechnic materiaal door een transparante streek van de beschermende dekking worden gemaakt.
