Total-reflection x-ray fluorescence apparatus and method using a doubly-curved optic

   
   

An improved total-reflection x-ray fluorescence (TXRF) apparatus using a doubly-curved optic is presented for use in detecting foreign matter on surfaces, for example, semiconductor wafers. The apparatus includes an x-ray source, a doubly-curved x-ray optic for diffracting and focusing the x-rays, a surface onto which at least some of the diffracted x-rays are directed, and an x-ray detector for detecting resultant x-ray fluorescence emitted by any foreign matter present on the surface One or more apertures may be provided for limiting the dispersion angle of the x-rays. The crystal or multi-layer doubly-curved optic typically adheres to Bragg's law of x-ray diffraction may be curved to a toroidal, ellipsoidal, spherical, parabolic, hyperbolic, or other doubly-curved shape. An apparatus for diffracting x-rays is also presented. The apparatus includes an x-ray source and image defining an optic circle of radius R.sub.1 an x-ray optic having a surface of radius R.sub.P and a plurality of atomic planes which intersect the surface at an angle .alpha., wherein the radius of the atomic planes R.sub.P is defined by the equation R.sub.P =2R cos .alpha.. This diffracting apparatus may be used in a TXRF apparatus.

Um instrumento melhorado do fluorescence do raio X da total-reflexão (TXRF) que usa um ótico dobro-curvado é apresentado para o uso em detectar a matéria extrangeira em superfícies, para o exemplo, wafers de semicondutor. O instrumento inclui uma fonte do raio X, um raio X dobro-curvado ótico para diffracting e focalizar os raios X, uma superfície em que ao menos alguns dos raios X diffracted é dirigida, e um detetor do raio X para detectar o fluorescence resultante do raio X emissor por toda a matéria extrangeira atual em o um de superfície ou mais abertura pode ser fornecido limitando o ângulo da dispersão dos raios X. O cristal ou o ótico dobro-curvado multi-layer aderem tipicamente à lei de Bragg do diffraction de raio X podem ser curvados a uma forma toroidal, ellipsoidal, esférica, parabólica, hyperbolic, ou outra dobro-curvada. Um instrumento para diffracting raios X é apresentado também. O instrumento inclui uma fonte e uma imagem do raio X que definem um círculo ótico do raio R.sub.1 um raio X ótico tendo uma superfície do raio R.sub.P e de um plurality dos planos atômicos que cruzam a superfície em um alpha. do ângulo, wherein o raio dos planos atômicos R.sub.P é definido pela equação alpha. de R.sub.P = de 2R cos. Este instrumento diffracting pode ser usado em um instrumento de TXRF.

 
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