A fluid-dispensing chip has a wafer substrate that incorporates drive
circuitry. A nozzle assembly is positioned on the wafer substrate. The
nozzle assembly has nozzle chamber walls and a roof wall that define a
nozzle chamber and a fluid ejection port in the roof wall and an
electrostatic actuator. The actuator has a first planar electrode
positioned on the wafer substrate. A second planar electrode is positioned
in the nozzle chamber and is displaceable towards and away from the first
planar electrode to eject fluid from the fluid ejection port. The first
planar electrode and the second planar electrode are connected to the
drive circuitry so that a potential difference can be applied between the
planar electrodes to displace the second planar electrode towards and away
from the first planar electrode. At least one of the nozzle chamber walls
and the wafer substrate define a fluid inlet in fluid communication with
the nozzle chamber and a fluid supply source.
Un circuito integrato d'erogazione ha un substrato della cialda che incorpora i circuiti dell'azionamento. Un complessivo dell'ugello è posizionato sul substrato della cialda. Il complessivo dell'ugello ha le pareti dell'alloggiamento dell'ugello e una parete del tetto che definiscono un alloggiamento dell'ugello e un orificio fluido di espulsione nella parete del tetto ed in un azionatore elettrostatico. L'azionatore ha un primo elettrodo planare posizionato sul substrato della cialda. Un secondo elettrodo planare è posizionato nell'alloggiamento dell'ugello ed è displaceable verso e via dal primo elettrodo planare espellere il liquido dall'orificio fluido di espulsione. Il primo elettrodo planare ed il secondo elettrodo planare sono collegati ai circuiti dell'azionamento in moda da potere applicarsi una differenza potenziale fra gli elettrodi planari per spostare il secondo elettrodo planare verso e via dal primo elettrodo planare. Almeno una delle pareti dell'alloggiamento dell'ugello ed il substrato della cialda definiscono un ingresso fluido nella comunicazione fluida con l'alloggiamento dell'ugello e una fonte fluida del rifornimento.
