Protective thin film for FPDS, method for producing said thin film and FPDS using said thin film

   
   

The present invention provides a protecting film capable of preventing deterioration in adhesion and matching to a substrate (dielectric layer), and deterioration in electric insulation. The protecting film includes a film body composed of MgO or the like which is inhibited from reacting with CO.sub.2 gas and H.sub.2 O gas in air to prevent degeneration of MgO or the like into MgCO.sub.3 and Mg(OH).sub.2, etc. harmful to FPD. The film body is formed on the surface of the substrate, and the fluoride layer is formed on the surface of the film body. The fluoride layer is represented by MO.sub.X F.sub.Y (M is Mg, Ca, Sr, Ba, an alkali earth complex metal, a rare earth metal, or a complex metal of an alkali earth metal and a rare earth metal, 0.ltoreq.X<2, and 0 Η παρούσα εφεύρεση παρέχει μια προστατεύοντας ταινία ικανή την επιδείνωση στην προσκόλληση και ένα υπόστρωμα (διηλεκτρικό στρώμα), και την επιδείνωση στην ηλεκτρική μόνωση. Η προστατεύοντας ταινία περιλαμβάνει ένα σώμα ταινιών που αποτελείται από MgO ή τους ομοίους που είναι εμποδισμένο από να αντιδράσουν με CO.sub.2 αέριο και H.sub.2 ο αέριο στον αέρα για να αποτρέψουν τον εκφυλισμό MgO ή των ομοίων σε MgCO.sub.3 και Mg(OH).sub.2, κ.λπ. επιβλαβή σε FPD. Το σώμα ταινιών διαμορφώνεται στην επιφάνεια του υποστρώματος, και το στρώμα φθοριδίου διαμορφώνεται στην επιφάνεια του σώματος ταινιών. Το στρώμα φθοριδίου αντιπροσωπεύεται από MO.sub.X μέταλλο μέταλλο F.sub.Y (το μ είναι MG, ασβέστιο, SR, BA, ένα αλκαλικό γήινο σύνθετο μέταλλο, ένα σπάνιας γης, ή ένα σύνθετο μέταλλο ενός αλκαλικού γήινου μετάλλου και ένα σπάνιας γης, 0.ltoreq.X

 
Web www.patentalert.com

< Method of manufacturing a field electron emission cathode having at least one cathode electrode

< Particle beam biaxial orientation of a substrate for epitaxial crystal growth

> Wafer and production thereof

> Method and system for diagnosis of plant

~ 00146