Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them

   
   

A cleaning sheet has a cleaning layer having a surface resistivity not less than 1.times.10.sup.13 .OMEGA./.quadrature.. In a method of manufacturing a conveying member with a cleaning function, for sticking the cleaning sheet, in which the cleaning layer formed of an adhesive that is polymerized/cured by an active energy is provided onto one surface of a base material and an ordinary adhesive layer is provided onto the other surface thereof, onto the conveying member via an ordinary adhesive layer to have a shape larger than the shape of the conveying member and then cutting the cleaning sheet along a shape of the conveying member, wherein a polymerizing/curing reaction of the cleaning layer is carried out after the cleaning sheet is cut out into the shape of the conveying member.

Een schoonmakend blad heeft een het schoonmaken laag die heeft een oppervlakteweerstandsvermogen niet minder dan 1.times.10.sup.13 OMEGA./quadrature.. In een methode om een vervoerend lid met een het schoonmaken functie te vervaardigen, voor het plakken van het schoonmakende blad, waarin de het schoonmaken laag die van een kleefstof wordt gevormd die door een actieve energie gepolymeriseerd/genezen is verstrekt=wordt= op één oppervlakte van een basismateriaal en een gewone zelfklevende laag daarvan verstrekt=wordt= op de andere oppervlakte, op het vervoerende lid via een gewone zelfklevende laag om een vorm te hebben groter dan de vorm van het vervoerende lid en dan het snijden van het schoonmakende blad langs een vorm van het vervoerende lid, waarin het polymeriseren van/het genezen van reactie van member with a cleaning function, for sticking the cleaning sheet, in which the cleaning layer formed of an adhesive that is polymerized/cured by an active energy is provided onto one surface of a base material and an ordinary adhesive layer is provided onto the other surface thereof, onto the conveying member via an ordinary adhesive layer to have a shape larger than the shape of the conveying member and then cutting the cleaning sheet along a shape of the conveying member, wherein a polymerizing/curing reaction of the cleaning layer is carried out after the cleaning sheet is verwijderd in de vorm van het vervoerende lid.

 
Web www.patentalert.com

< Photosensitive resin composition and circuit board

< Loop cutter

> Optical member

> Running method and washing method for spiral wound membrane element and spiral wound membrane module

~ 00146