The invention concerns an ellipsometer comprising a source (S) supplying at
least an infrared radiation, a sample-holder (PE), a sensor (D), a first
optical system mounted between the source (S) and the sample-holder (PE),
so as to illuminate a sample placed on the sample-holder, under oblique
view with a polarised light beam and a second optical system mounted
between the sample-holder (PE) and the sensor (D) for collecting the light
reflected by the sample. The ellipsometer further comprises a blocking
device (F2) mounted on the reflection path in the focal plane of the
focusing device (M2) of the second optical system, and adapted to block
parasite rays (RP) derived from the rear surface (FAR) of the sample and
to allow through useful rays (RU) derived from the front surface (FAV) of
the sample towards the sensor (D), thereby enabling to obtain a resolution
with respect to the sample front and rear surfaces.
Вымысел относится ellipsometer состоя из источника (S) поставляя по крайней мере ультракрасную радиацию, образц-derjatel6 (PE), датчик (d), первую оптически систему установленную между источником (S) и образц-derjatel6 (PE), для того чтобы осветить образец помещенный на образц-derjatele, под вкосую взглядом при поляризовыванный световой луч и вторая оптически система установленные между образц-derjatelem (PE) и датчиком (D) для собирать свет отраженный образцом. Ellipsometer более дальнейшее состоит из преграждая приспособления (f2) установленного на курсе отражения в фокальная плоскость фокусируя приспособления (m2) второй оптически системы, и приспособленного к лучам дармоеда блока (rp) выведенным от задней поверхности (ДАЛЕКОЙ) образца и позволить через полезные лучи (ru) выведенные от передней поверхности (FAV) образца к датчику (d), таким образом позволяя получить разрешение по отношению к поверхностям образца передним и задним.
