The present invention relates to a scanning micromirror for optical
communications. The scanning micromirror comprises an outer frame having
an aperture therein, an inner frame located within the aperture of the
outer frame and having an aperture therein, an optical reflecting means
located within the aperture of the inner frame, a plurality of first
torsion springs connected between an inner wall of the outer frame and an
outer wall of the inner frame, for supporting the inner frame, a plurality
of second torsion springs connected between the inner wall of the inner
frame and the optical reflecting means, for supporting the optical
reflecting means, first comb-type electrostatic actuators for applying
electrostatic torque by which the inner frame is rotated about an axis of
the first torsion springs, and second comb-type electrostatic actuators
for applying electrostatic torque by which the optical reflecting means is
rotated about an axis of the second torsion springs. Therefore, as the
present invention uses vertical comb-type electrostatic actuators, an
available rotation angle can be made large compared to a conventional case
using a parallel-plate type electrostatic actuator. As the vertical
asymmetry of the fixed combs and the movable combs are large, a large
rotation angle can be obtained in non-resonant mode as well as resonant
mode.
La actual invención se relaciona con un micromirror de la exploración para las comunicaciones ópticas. El micromirror de la exploración abarca un marco externo que tiene una abertura en esto, un marco interno situado dentro de la abertura del bastidor externo y teniendo una abertura en esto, los medios de reflejo ópticos situados dentro de la abertura del bastidor interno, una pluralidad de primeros resortes de torsión conectados entre una pared interna del bastidor externo y una pared externa del bastidor interno, para apoyar el marco interno, una pluralidad de segundos resortes de torsión conectados entre la pared interna del bastidor interno y el reflejo óptico significa, porque el soporte de los medios de reflejo ópticos, primer peine-tipo actuadores electrostáticos para aplicar el esfuerzo de torsión electrostático por el cual el marco interno es rotado sobre un eje de los primeros resortes de torsión, y el segundo peine-tipo actuadores electrostáticos para aplicar el esfuerzo de torsión electrostático por el cual el reflejo óptico significa se rota sobre un eje de los segundos resortes de torsión. Por lo tanto, como la actual invención utiliza el peine-tipo vertical actuadores electrostáticos, un ángulo disponible de la rotación se puede hacer grande comparado a un caso convencional usando un tipo actuador electrostático de la paralelo-placa. Pues la asimetría vertical de los peines fijos y los peines movibles son grandes, un ángulo grande de la rotación se puede obtener en modo non-resonant así como modo resonante.
