A method and an apparatus for selectively processing a layer of a workpiece
based upon dependencies with other layers in the workpiece. A process step
upon the workpiece is performed. Metrology data relating to the workpiece
is acquired. A process adjustment relating to a first layer on the
workpiece is calculated based upon the metrology data. A determination
whether an error on a second layer on the workpiece would occur in
response to an implementation of the process adjustment performed on the
first layer. A magnitude of the calculated process adjustment is reduced
in response to a determination that the second layer would be affected in
response to the implementation of the process adjustment.
Un metodo e un apparecchio per selettivamente l'elaborazione dello strato di un pezzo in lavorazione basato sulle dipendenze con altri strati nel pezzo in lavorazione. Un'operazione trattata sul pezzo in lavorazione è effettuata. I dati di metrologia concernente il pezzo in lavorazione sono acquistati. Una registrazione trattata per quanto riguarda un primo strato sul pezzo in lavorazione è calcolata ha basato sui dati di metrologia. Una determinazione se un errore su un secondo strato sul pezzo in lavorazione si presenterebbe in risposta ad un'esecuzione della registrazione trattata realizzata sul primo strato. Una grandezza della registrazione trattata calcolata è ridotta in risposta ad una determinazione che il secondo strato sarebbe influenzato in risposta all'esecuzione della registrazione trattata.
