Disclosed is a spectroscopic Ellipsometer having pseudo-achromatic
compensator(s) having fast axes which vary with wavelength and which
provide, a range of retardations, (that is, maximum retardance minus
minimum retardance), of less than 90 degrees over a range of wavelengths,
said range of retardations being bounded by a minimum of preferably at
least 30 degrees, to a maximum of less than 135 degrees. Calibration is
achieved by a Mathematical Regression based technique involving, where
desirable, Parameterization of Calibration Parameters. Various Dimensional
Data Set(s) obtained with the Spectroscopic Ellipsometer configured in a
Sample, present" or in a Straight-through" configuration, are variously
normalized to D.C., A.C. or combination D.C. and A.C. components. Sample
analysis using a detector provided intensity signal simultaneously
comprising 2.omega. and 4.omega. signals simultaneously, and use of
un-normalized A.C. and/or D.C. signals in reflectance monitoring are also
disclosed.
Αποκαλύπτεται ένα φασματοσκοπικό Ellipsometer έχοντας τον ψευδο-αχρωματικό αποζημιωτή (σ) που έχει τους γρήγορους άξονες που ποικίλλουν με το μήκος κύματος και που παρέχουν, μια σειρά των retardations, (δηλαδή μέγιστο retardance μείον ελάχιστο retardance), λιγότερο από 90 βαθμών πέρα από μια σειρά των μηκών κύματος, εν λόγω σειρά των retardations που είναι οριακή από ένα ελάχιστο κατά προτίμηση τουλάχιστον 30 βαθμών, σε ένα μέγιστο λιγότερο από 135 βαθμών. Η βαθμολόγηση επιτυγχάνεται από μια μαθηματική βασισμένη στην οπισθοδρόμηση τεχνική που περιλαμβάνει, όπου αυτό είναι επιθυμητό, parameterization των παραμέτρων βαθμολόγησης. Το διάφορο διαστατικό σύνολο στοιχείων (σ) που λαμβάνεται με το φασματοσκοπικό Ellipsometer που διαμορφώνεται σε ένα δείγμα, παρόν "ή σε μια straight-through" διαμόρφωση, είναι ποικιλοτρόπως ομαλοποιημένο στο ΣΥΝΕΧΈΣ ΡΕΎΜΑ, το ΣΥΝΕΧΈΣ ΡΕΎΜΑ ΕΝΑΛΛΑΣΣΌΜΕΝΟΥ ΡΕΎΜΑΤΟΣ ή συνδυασμού και τα τμήματα ΕΝΑΛΛΑΣΣΌΜΕΝΟΥ ΡΕΎΜΑΤΟΣ. Η ανάλυση δειγμάτων που χρησιμοποιεί έναν ανιχνευτή παρείχε το σήμα έντασης περιλαμβάνοντας ταυτόχρονα τα σήματα 2.omega. και 4.omega. ταυτόχρονα, και η χρήση των Η.Ε-ομαλοποιημένων σημάτων ΕΝΑΛΛΑΣΣΌΜΕΝΟΥ ΡΕΎΜΑΤΟΣ ή/και ΣΥΝΕΧΟΎΣ ΡΕΎΜΑΤΟΣ στον έλεγχο συντελεστή ανάκλασης αποκαλύπτεται επίσης.
