A molecular fluorine (F.sub.2) laser system that includes a gaseous
molecular fluorine gain medium contained in a laser tube, a resonant
cavity, a power supply for exciting the gain medium to produce a laser
beam having an ultra violet (UV) radiation output at substantially 157 nm
and a red radiation output in the range of 620 to 760 nm, a discharge
module connected to the laser tube for adding and withdrawing gas to the
gain medium, a controller for controlling the power supply and the
discharge module, and a photo diamond detector that receives a portion of
the laser beam for measuring at least one optical parameter of the UV
radiation such as energy, pulse energy, pulse shape, pulse width, etc. The
photo diamond detector is substantially insensitive to the red radiation
output that is also present in the laser beam. The controller modifies the
excitation of the gain medium by the power supply, and modifies the gas
added to and withdrawn from the gain medium in the laser tube by the
discharge module, in response to the optical parameter measured by the
photo diamond detector.
Un sistema molecolare del laser del fluoro (F.sub.2) che include un mezzo molecolare gassoso di guadagno del fluoro ha contenuto in un tubo del laser, in una cavità sonora, in un gruppo di alimentazione per eccitare il mezzo di guadagno per produrre un fascio laser che ha una radiazione (UV) ultra viola prodotta a sostanzialmente 157 nm e una radiazione rossa prodotta nella gamma di 620 a 760 nm, in un modulo di scarico collegato al tubo del laser per la aggiunta e ritirare del gas al mezzo di guadagno, in un regolatore per il controllo il gruppo di alimentazione e del modulo di scarico ed in un rivelatore del diamante della foto che riceve una parte del fascio laser per la misurazione almeno dell'un parametro ottico UV della radiazione quali energia, energia di impulso, figura di impulso, la larghezza di impulso, ecc. Il rivelatore del diamante della foto è sostanzialmente insensibile alla radiazione rossa prodotta che è inoltre presente nel fascio laser. Il regolatore modifica l'eccitazione del mezzo di guadagno tramite il gruppo di alimentazione e modifica il gas aggiunto a e ritirato dal mezzo di guadagno nel tubo del laser dal modulo di scarico, in risposta al parametro ottico misurato dal rivelatore del diamante della foto.
