This invention comprises a coating for equipment parts, particularly
including chemical mechanical polishing equipment parts and other
equipment that may experience wear or contaminant build-up. The coating
includes a fluoropolymer based material that may also contain a colorant
or pigment to visually contrast with particles or slurry that is deposited
on the parts during use. In some embodiments, multiple layers are applied
in contrasting colors so that when a layer closer to the surface begins to
wear a lower layer will be readily visible, signaling that re-coating or
replacement will soon be required.
Αυτή η εφεύρεση περιλαμβάνει ένα επίστρωμα για τα μέρη εξοπλισμού, ιδιαίτερα συμπεριλαμβανομένων των χημικών μηχανικών γυαλίζοντας μερών εξοπλισμού και άλλου εξοπλισμού που μπορούν να δοκιμάσουν την ένδυση ή τη συγκέντρωση μολυσματικών παραγόντων. Το επίστρωμα περιλαμβάνει ένα βασισμένο fluoropolymer υλικό που μπορεί επίσης να περιέχει μια χρωστική ουσία ή μια χρωστική ουσία για να αντιπαραβάλει οπτικά με τα μόρια ή τον πηλό που κατατίθεται στα μέρη κατά τη διάρκεια της χρήσης. Σε μερικές ενσωματώσεις, τα πολλαπλάσια στρώματα εφαρμόζονται στα αντιπαραβαλλόμενα χρώματα έτσι ώστε όταν ένα στρώμα αρχίζει να φορά πιό κοντά στην επιφάνεια ένα χαμηλότερο στρώμα θα είναι εύκολα ορατός, επισημαίνοντας ότι να ξαναλείψει ή η αντικατάσταση θα απαιτηθεί σύντομα.
