The invention is a device and method of fabrication where an array of
electrostatically activated members of (e.g., movable mirrors) formed in a
layer comprising silicon is mounted over a ceramic substrate. The
substrate includes conductors formed on a major surface and in via holes
formed in the substrate. The conductors are positioned so as to
selectively operate the array of mirrors.
La invención es un dispositivo y un método de fabricación donde un arsenal de miembros electrostático activados (e.g., los espejos movibles) de formado en una capa que abarca el silicio se monta sobre un substrato de cerámica. El substrato incluye los conductores formados en una superficie importante y adentro vía los agujeros formados en el substrato. Los conductores se colocan para funcionar selectivamente el arsenal de espejos.
