A method of depositing boron carbide on an aluminum substrate, particularly
useful for a plasma etch reactor having interior surfaces facing the
plasma composed of boron carbide, preferably principally composed of
B.sub.4 C. Although in this application, the boron carbide may be a bulk
sintered body, in the method of the invention it may be a layer of boron
carbide coated on an aluminum chamber part. The boron carbide coating may
be applied by thermal spraying, such as plasma spraying, by chemical vapor
deposition, or by other layer forming technique such as a surface
converting reaction. The boron carbide is highly resistant to high-density
plasma etchants such as BCl.sub.3. The plasma sprayed coating is
advantageously applied to only a portion of an anodized aluminum wall. The
boron carbide may be sprayed over the exposed portion of an aluminum
substrate over which the anodization has been removed. A band of the
aluminum substrate at the transition between the anodization and the boron
carbide is roughened prior to anodization so that the boron carbide sticks
to the correspondingly roughened surface of the anodization.
Alternatively, the entire wall area of the anodized aluminum to be coated
is roughened, and the boron carbide is sprayed over the anodization.
Um método de depositar o carbide do boro em uma carcaça de alumínio, particularmente úteis para um reator gravura em àgua forte do plasma que tem superfícies interior enfrentar o plasma composto do carbide do boro, composto preferivelmente principalmente de B.sub.4 C. Embora nesta aplicação, o carbide do boro pode ser um corpo sintered maioria, no método da invenção que pode ser uma camada de carbide do boro revestida em uma peça de alumínio da câmara. O revestimento do carbide do boro pode ser aplicado pela pulverização térmica, tal como o plasma que pulveriza, pelo deposition de vapor químico, ou pela outra camada que dá forma à técnica tal como uma reação convertendo-se de superfície. O carbide do boro é altamente resistente etchants high-density do plasma tais como BCl.sub.3. O revestimento pulverizado plasma é aplicado vantajosamente somente a uma parcela de uma parede de alumínio anodized. O carbide do boro pode ser excesso pulverizado a parcela exposta de um excesso de alumínio da carcaça que o anodization seja removido. Uma faixa da carcaça de alumínio na transição entre o anodization e o carbide do boro é tornada áspera antes do anodization de modo que o carbide do boro fure à superfície correspondingly tornada áspera do anodization. Alternativamente, a área inteira da parede do alumínio anodized a ser revestido é tornada áspera, e o carbide do boro é pulverizado sobre o anodization.
