The present invention provides, in one aspect, a method of manufacturing a
MEMS assembly. In one embodiment, the method includes mounting a MEMS
device, such as a MEMS mirror array, on an assembly substrate. The method
further includes coupling an assembly lid to the assembly substrate and
over the MEMS device to create an interior of the MEMS assembly housing
the MEMS device, whereby the coupling maintains an opening to the interior
of the MEMS assembly. Furthermore, the method includes
lubricating/passivating the MEMS device through the opening. In addition,
a MEMS assembly constructed according to a process of the present
invention is also disclosed.
Η παρούσα εφεύρεση παρέχει, σε μια πτυχή, μια μέθοδο μια συνέλευση MEMS. Σε μια ενσωμάτωση, η μέθοδος περιλαμβάνει να τοποθετήσει μια συσκευή MEMS, όπως μια σειρά καθρεφτών MEMS, σε ένα υπόστρωμα συνελεύσεων. Η μέθοδος περιλαμβάνει περαιτέρω την ένωση ενός καπακιού συνελεύσεων με το υπόστρωμα συνελεύσεων και πέρα από τη συσκευή MEMS για να δημιουργήσει ένα εσωτερικό της συνέλευσης MEMS που στεγάζει τη συσκευή MEMS, με το οποίο η σύζευξη διατηρεί ένα άνοιγμα στο εσωτερικό της συνέλευσης MEMS. Επιπλέον, η μέθοδος περιλαμβάνει τη λίπανση/την παθητικοποίηση της συσκευής MEMS μέσω του ανοίγματος. Επιπλέον, μια συνέλευση MEMS που κατασκευάζεται σύμφωνα με μια διαδικασία της παρούσας εφεύρεσης αποκαλύπτεται επίσης.
