Fully released MEMs XYZ flexure stage with integrated capacitive feedback

   
   

In one embodiment, the present invention is directed to a system that enables controllable positioning of a fully-released micro-stage. The fully-released micro-stage may be assembled onto a detector substrate that enables micro-positioning feedback. A payload structure (e.g., a lens, mirror, manipulator, and/or the like) may be assembled or coupled onto the fully-release microstage. Snap connectors may facilitate the mechanical coupling associated with assembly of the various components. The fully-released microstage may be actuated by motion amplified actuators that are coupled to anchored flexures. Moreover, the actuation of the fully-release microstage may produce fully decoupled movement by coupling the actuators and respective flexures to the stage in a mirrored fashion.

В одно воплощение, присытствыющий вымысел направлен к системе которая включает controllable располагать полн-vypu5ennogo микро--3tapa. Полн-vypu5enny1 микро--3tap может быть собран на субстрат детектора включает микро--raspolagat6 обратную связь. Структура полезной нагрузки (например, объектив, зеркало, манипулятор, and/or подобие) может быть собрана или соединена на полн-vypuskaet microstage. Щелчковые разъемы могут облегчить механически соединение связанное с агрегатом различных компонентов. Полн-vypu5ennoe microstage может быть сработано приводами усиленными движением соединены к поставленным на якорь сгибаниям. Сверх того, возбуждение полн-vypuskaet microstage может произвести польностью decoupled движение путем соединять приводы и соответственно сгибания к этапу в отраженном способе.

 
Web www.patentalert.com

< Stacked network devices including a protocol engine and distributed trunk ports and method of operating same

< Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction

> Digital camera

> Information-recording medium and information reproducing apparatus

~ 00139