Thin permanent-magnet film and process for producing the same

   
   

Refractory metal layers 2, 4, 6, 8, and 10, and rare earth alloy magnetic layers 3, 5, 7, 9, 11, and 12 are alternately deposited, so as to form a multilayer structure including four or more layers on a substrate. The refractory metal layers 2, 4, 6, 8, and 10 are formed from at least one kind of material selected from a group consisting of Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, and W, and each has a thickness of not less than 5 nm nor more than 50 nm. The rare earth alloy magnetic layers 3, 5, 7, 9, 11, and 12 have tetragonal R.sub.2 Fe.sub.14 B (R is Nd and/or Pr) as a primary constituent phase, and each has a thickness of not less than 50 nm nor more than 500 nm.

Il metallo refrattario fa uno strato di 2, 4, 6, 8 e 10 e gli strati magnetici 3, 5, 7, 9, 11 e 12 della lega della terra rara alternatamente sono depositati, in modo da formare una struttura a più strati compreso quattro o più strati su un substrato. Il metallo del refrattario fa uno strato di 2, 4, 6, 8 e 10 sono formati almeno da un genere di materiale scelto da un Ti del gruppo, da un V, da un Cr, da uno Zr, da una N.B.:, da un Mo, da un'HF, dall'AT e da un W consistenti e ciascuno ha uno spessore di 5 nm né più di di 50 nm. Gli strati magnetici 3, 5, 7, 9, 11 e 12 della lega della terra rara hanno R.sub.2 tetragonal Fe.sub.14 B (R è ND e/o fotoricettore) come fase costituente primaria e ciascuno ha uno spessore di 50 nm né più di di 500 nm.

 
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