An electrostatic actuator comprises first and second stator sections having
a first electrode array arranged in a first direction, and a second
electrode array of electrodes extending in the first direction,
respectively. A movable section having fifth and sixth electrodes arranged
to face the first and second electrode arrays, respectively, is arranged
between the first and second stator sections. A driving circuit
alternately performs a first driving operation in which a DC voltage is
applied between the adjacent electrodes of the first electrode array and a
second driving operation in which a DC voltage is applied between the
electrodes of the second electrode array. The voltage application is
successively performed by deviating the positions of the electrodes to
which the voltage is applied so as to move the movable section in the
first direction while vibrating the movable section between the first and
second stator sections.
Elektrostatische actuator bestaat eerst uit en tweede statorsecties een eerste elektrodenserie hebben die in een eerste richting wordt geschikt, en een tweede elektrodenserie die van elektroden zich in de eerste richting uitbreiden, respectievelijk. Een beweegbare sectie die vijfde en zesde elektroden heeft die worden geschikt om de eerste en tweede elektrodenseries onder ogen te zien, respectievelijk, wordt geschikt tussen de eerste en tweede statorsecties. Een drijfkring voert afwisselend een eerste drijfhandeling uit waarin een voltage van DC tussen de aangrenzende elektroden van de eerste elektrodenserie en een tweede drijfverrichting wordt toegepast waarin een voltage van DC tussen de elektroden van de tweede elektrodenserie wordt toegepast. De voltagetoepassing wordt opeenvolgend uitgevoerd door de afwijkende posities van de elektroden waartot het voltage wordt toegepast om de beweegbare sectie in de eerste richting te leiden terwijl trillend de beweegbare sectie tussen de eerste en tweede statorsecties.
