Two phase modulators or polarizing elements are employed to modulate the
polarization of an interrogating radiation beam before and after the beam
has been modified by a sample to be measured. Radiation so modulated and
modified by the sample is detected and up to 25 harmonics may be derived
from the detected signal. The up to 25 harmonics may be used to derive
ellipsometric and system parameters, such as parameters related to the
angles of fixed polarizing elements, circular deattenuation,
depolarization of the polarizing elements and retardances of phase
modulators. A portion of the radiation may be diverted for detecting
sample tilt or a change in sample height. A cylindrical objective may be
used for focusing the beam onto the sample to illuminate a circular spot
on the sample. The above-described self-calibrating ellipsometer may be
combined with another optical measurement instrument such as a
polarimeter, a spectroreflectometer or another ellipsometer to improve the
accuracy of measurement and/or to provide calibration standards for the
optical measurement instrument. The self-calibrating ellipsometer as well
as the combined system may be used for measuring sample characteristics
such as film thickness and depolarization of radiation caused by the
sample.
Zweiphasenmodulatoren oder polarisierenelemente werden eingesetzt, um die Polarisation eines abfragenstrahlung Lichtstrahls zu modulieren, vorher und nachher, das der Lichtstrahl durch eine gemessen zu werden geändert worden ist Probe. Strahlung also moduliert worden und durch die Probe geändert wird ermittelt und bis 25 Harmonik kann vom ermittelten Signal abgeleitet werden. Die bis 25 Harmonik kann benutzt werden, um die ellipsometric und System Parameter, wie Parameter abzuleiten, die auf den Winkeln der örtlich festgelegten polarisierenelemente, des kreisförmigen deattenuation, der Depolarisierung der polarisierenelemente und der Verzögerungen der Phase Modulatoren bezogen werden. Ein Teil der Strahlung kann für das Ermitteln von von Beispielneigung oder von von Änderung in der Beispielhöhe umgeleitet werden. Eine zylinderförmige Zielsetzung kann für die Fokussierung des Lichtstrahls auf die Probe verwendet werden, um einen kreisförmigen Punkt auf der Probe zu belichten. Das oben beschriebene Selbst-kalibrierende ellipsometer kann mit einem anderen optischen Maßinstrument wie einem Polarimeter, einem spectroreflectometer oder einem anderen ellipsometer kombiniert werden, um die Genauigkeit des Maßes zu verbessern und/oder Kalibrierung Standards für das optische Maßinstrument zur Verfügung zu stellen. Das Selbst-kalibrierende ellipsometer sowie das kombinierte System kann für das Messen von von Beispieleigenschaften wie Schichtstärke und Depolarisierung der Strahlung verwendet werden verursacht worden durch die Probe.
