A method and an improved multilayer hinge structure for use in a
micromirror device for a spatial light modulator are provided herein. The
micromirror device presents a conductive, composite torsion hinge with
improved mechanical reliability, achieved by optimizing the geometry of
the hinge, which minimizes the amount of residual twist, fixed torsional
stiffness and fixed rate of plastic deformation in the mechanically
undesirable hinge element. A method and its alternatives are disclosed
herein by the present invention for manufacturing such multilayer hinge
structure.
Μια μέθοδος και μια βελτιωμένη πολυστρωματική δομή αρθρώσεων για τη χρήση σε μια συσκευή micromirror για έναν χωρικό ελαφρύ διαμορφωτή παρέχονται εν τω παρόντι. Η συσκευή micromirror παρουσιάζει μια αγώγιμη, σύνθετη torsion άρθρωση με τη βελτιωμένη μηχανική αξιοπιστία, που επιτυγχάνεται με τη βελτιστοποίηση της γεωμετρίας της άρθρωσης, η οποία ελαχιστοποιεί το ποσό υπόλοιπης συστροφής, σταθερής torsional ακαμψίας και σταθερού ποσοστού πλαστικής παραμόρφωσης στο μηχανικά ανεπιθύμητο στοιχείο αρθρώσεων. Μια μέθοδος και οι εναλλακτικές λύσεις της αποκαλύπτονται εν τω παρόντι από την παρούσα εφεύρεση για την κατασκευή τέτοιας πολυστρωματικής δομής αρθρώσεων.
