An optically controlled micro-electromechanical (MEM) switch is described
which desirably utilizes photoconductive properties of a semiconductive
substrate upon which MEM switches are fabricated. In one embodiment the
bias voltage provided for actuation of the switch is altered by
illuminating an optoelectric portion of the switch to deactivate the
switch. In an alternative embodiment, a photovoltaic device provides
voltage to actuate the switch without any bias lines at all. Due to the
hysteresis of the electromechanical switching as a function of applied
voltage, only modest variation of voltage applied to the switch is
necessary to cause the switch to open or close sharply under optical
control.
Een optisch gecontroleerde micro-electromechanical schakelaar (van MEM wordt) beschreven die wenselijk fotoconductieve eigenschappen van een semiconductive substraat gebruikt waarop de schakelaars MEM worden vervaardigd. In één belichaming wordt het bias voltage dat voor aandrijving van de schakelaar wordt verstrekt veranderd door een electro-optisch gedeelte van de schakelaar te verlichten om de schakelaar te desactiveren. In een alternatieve belichaming, verstrekt een photovoltaic apparaat voltage om de schakelaar zonder enige bias lijnen bij allen aan te drijven. Wegens de hysterese van de elektromechanische omschakeling als functie van toegepast voltage, slechts is de bescheiden variatie van voltage die op de schakelaar wordt toegepast noodzakelijk om de schakelaar te veroorzaken om scherp onder optische controle te openen of te sluiten.
