The invention provides new photoresist compositions that contain a resin
binder and a blend of photoacid generators. Photoacid generator blends of
the invention produce photoacids that differ in acid strength and/or size.
Вымысел обеспечивает новые составы фоторезиста содержат связыватель смолаы и бленду генераторов photoacid. Бленды генератора Photoacid вымысла производят photoacids отличают в кисловочной прочности and/or определяют размер.
