On-chip vacuum microtube device and method for making such device

   
   

In accordance with the invention, improved vacuum microtube devices are provided with arrangements for tunably spacing the gate and the cathode. Tuning can be effected by using an electrostaic or magnetic actuator to move the gate on a spring or a rail. Advantageously a feedback arrangement can be used to control the spacing. Magnetic reassembly components can be provided for facilitating release of tube components in fabrication.

Σύμφωνα με την εφεύρεση, στις βελτιωμένες κενές συσκευές microtube παρέχονται οι ρυθμίσεις για tunably να χωρίσουν κατά διαστήματα την πύλη και την κάθοδο. Ο συντονισμός μπορεί να επηρεαστεί με τη χρησιμοποίηση ενός electrostaic ή μαγνητικού ενεργοποιητή για να κινήσει την πύλη σε ένα ελατήριο ή μια ράγα. Ευνοϊκά μια ρύθμιση ανατροφοδότησης μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να ελέγξει το διάστημα. Τα μαγνητικά τμήματα επανασυναρμολόγησης μπορούν να παρασχεθούν για τη διευκόλυνση της απελευθέρωσης των τμημάτων σωλήνων στην επεξεργασία.

 
Web www.patentalert.com

< Method of forming self aligned contacts

< Process for producing fluorinated ketone

> Method of producing zinc oxide thin film, method of producing photovoltaic device and method of producing semiconductor device

> Integrated circuit ferroelectric infrared detector and method

~ 00137