A positive resist composition comprising: (A) a polymer having a silicon
atom in a side chain thereof, which is insoluble or sparingly soluble in
an aqueous alkali solution and becomes soluble in an aqueous alkali
solution by an action of an acid; and (B) an acid generator capable of
generating an acid on exposure to active light rays or a radiation, which
is represented by the formula (I) defined in the present specification.
Ein Positiv widerstehen dem Aufbauenthalten: (a) ein Polymer-Plastik, das ein Silikonatom in einer Seitenkette davon hat, die unlöslich oder kaum Lösliches in einer wäßrigen Alkalilauge ist und in einer wäßrigen Alkalilauge durch eine Tätigkeit einer Säure löslich wird; und (b) definierte ein saurer Generator, der zum Erzeugen einer Säure ausgesetzt aktiven hellen Strahlen oder einer Strahlung fähig ist, die durch die Formel (i) dargestellt wird, in der anwesenden Spezifikation.
