Elastomer molded article for semiconductor production apparatuses which is
obtained by crosslinking and molding a crosslinkable fluorine-containing
elastomer composition comprising a crosslinkable fluorine-containing
elastomer component and fine particles of aluminum oxide having an average
particle size of not more than 0.5 .mu.m. The elastomer molded article is
excellent in plasma resistance and an amount of micro particles generated
after irradiation of plasma is very small and therefore a very clean
molded article for semiconductor production apparatuses, particularly a
sealing material to be used in an environment of plasma irradiation is
provided.
L'elastomero ha modellato l'articolo per le apparecchiature di produzione a semiconduttore che è ottenuto unendo con legami atomici incrociati e modellando una composizione contenente fluoro crosslinkable nell'elastomero che contiene un componente contenente fluoro crosslinkable dell'elastomero e lle particelle fini l'ossido di alluminio che ha una dimensione delle particelle media di non più di 0.5 mu.m. L'articolo modellato elastomero è eccellente nella resistenza del plasma ed in una quantità di micro particelle generate dopo che l'irradiazione di plasma sia molto piccola e quindi un articolo modellato molto pulito per le apparecchiature di produzione a semiconduttore, specialmente un materiale di sealing da usare in un ambiente di irradiazione del plasma è fornito.
