Microelectromechanical system (MEMS) with improved beam suspension

   
   

In a MEMS device employing a beam supported by transverse arms, potential bowing of the transverse arms caused by fabrication processes, temperature or local self-heating from resistive losses is accommodated by flexible terminations of the transverse arms. Alternatively, this bowing is controlled so as to provide selective biasing to the beam or mechanical advantage in the sensing of beam motion.

In einer MEMS Vorrichtung, die einen Lichtstrahl gestützt wird durch Querarme einsetzt, wird mögliche Verbeugung der Querarme, die durch Herstellung Prozesse verursacht werden, Temperatur oder lokales selbstheizendes von den widerstrebenden Verlusten durch flexible Endpunkte der Querarme untergebracht. Wechselweise ist diese Verbeugung kontrolliert, um das vorgewählte Beeinflussen zum Lichtstrahl oder mechanischen Wirkungsgrad in der Abfragung der Lichtstrahlbewegung zur Verfügung zu stellen.

 
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