Detector array with scattered light correction

   
   

The subject invention relates to a method of mitigating the effects of spurious background signals in spectroscopic measurement systems. The design of a broadband imagining spectrometer is disclosed that enables direct measurement of the spurious optical background intensity during spectroscopic measurements of a sample. The background is measured on a two dimensional surface coincident with the spectrometer exit plane. The background contribution is used to correct the measurements improving the accuracy of the spectroscopic intensity measurement.

Die vorbehaltliche Erfindung bezieht auf einer Methode des Abschwächens der Effekte der unechten Hintergrundsignale in den spektralanalytischen Maßsystemen. Das Design eines vorstellenden Breitbandspektrometers wird freigegeben, das direktem Maß der unechten optischen Hintergrundintensität während der spektralanalytischen Maße einer Probe ermöglicht. Der Hintergrund wird auf einem zweidimensionalen Oberflächenzusammentreffendem mit der Spektrometerausgang Fläche gemessen. Der Hintergrundbeitrag wird verwendet, um die Maße zu beheben, welche die Genauigkeit des spektralanalytischen Intensität Maßes verbessern.

 
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< Self-calibration of an optical-based sensor using a total internal reflection (TIR) signature

< Image acquisition apparatus

> Plasmon resonance sensor

> Method for measuring thickness of oxide film

~ 00136