A removable semiconductor wafer susceptor used for supporting a substrate
during batch processing. The susceptor includes a flat circular central
plane with a predetermined outer diameter. The susceptor is sized to fit
within an inner diameter formed from wafer support ledges of a wafer
transport container. The susceptor includes edges that are chamfered and
rounded to lessen stress concentration at the edges. The susceptor is
transported through processing by a sieving action of transport
automation.
Un susceptor desprendible de la oblea de semiconductor usado para apoyar un substrato durante el procesamiento por lotes. El susceptor incluye un plano central circular plano con un diámetro externo predeterminado. El susceptor se clasifica para caber a un diámetro interno formado de las repisas de la ayuda de la oblea de un envase de transporte de la oblea. El susceptor incluye los bordes que se chaflanan y se redondean para disminuir la concentración de la tensión en los bordes. El susceptor es transportado con el proceso por una acción que tamiza de la automatización del transporte.
