Boron phosphide-based semiconductor device and production method thereof

   
   

A boron phosphide-based semiconductor device including a substrate having thereon an oxygen-containing boron phosphide-based semiconductor layer having boron and phosphorus as constituent elements and oxygen, and a production process therefor.

Ein Bor Phosphid-gründete Halbleiterelement einschließlich ein Substrat, das darauf dafür eine Sauerstoff-enthaltene Bor Phosphid-gegründete Halbleiterhat, schicht Bor und Phosphor als konstituierende Elemente und Sauerstoff zu haben, und einen Produktion Prozeß.

 
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