A system and method for predicting yield of integrated circuits includes a
characterization vehicle (12) having at least one feature representative
of at least one type of feature to be incorporated in the final integrated
circuit, preferably a device neighborhood, process neighborhood
characterization vehicle. The characterization vehicle (12) is subjected
to process operations making up the fabrication cycle to be used in
fabricating the integrated circuit in order to produce a yield model (16).
The yield model (16) embodies a layout as defined by the characterization
vehicle (12) and preferably includes features which facilitates the
gathering of electrical test data and testing of prototype sections at
operating speeds. An extraction engine (18) extracts predetermined layout
attributes (26) from a proposed product layout (20). Operating on the
yield model, the extraction engine (18) produces yield predictions (22) as
a function of layout attributes (26) and broken down by layers or steps in
the fabrication process (14).
Un sistema y un método para predecir la producción de circuitos integrados incluye un vehículo de la caracterización (12) que tiene por lo menos un representante de la característica por lo menos de un tipo de característica que se incorporará en el circuito integrado final, preferiblemente una vecindad del dispositivo, vehículo de proceso de la caracterización de la vecindad. El vehículo de la caracterización (12) se sujeta a las operaciones de proceso que hacen encima del ciclo de la fabricación que se utilizará en fabricar el circuito integrado para producir un modelo de la producción (16). El modelo de la producción (16) incorpora una disposición según lo definido por el vehículo de la caracterización (12) e incluye preferiblemente características que facilita la reunión de los datos de prueba y de la prueba eléctricos de las secciones del prototipo a las velocidades de funcionamiento. Los extractos de un motor de la extracción (18) predeterminaron cualidades de la disposición (26) de una disposición propuesta del producto (20). Funcionando en el modelo de la producción, el motor de la extracción (18) produce predicciones de la producción (22) en función de cualidades de la disposición (26) y analizado por capas o pasos en el proceso de la fabricación (14).
