Interferometer system and litographic step-and-scan apparatus provided with such a system

   
   

Interferometric apparatus and methodology for monitoring the relative motion among objects, preferably that of mask and wafer stages in photolithographic processes. The apparatus comprises a plurality of interferometers with each operating to provide a mixed optical interference signal containing phase information indicative of the motion of a corresponding object. Electrical interference signals are generated from the optical interference signals, and one of these is modified to compensate for any Doppler shift differences among the electrical interference signals caused by differences in preferred relative rates of motion in the objects. A mixer receives the electrical interference signals and the modified electrical interference signal and generates an output electrical interference signal containing information about the relative motion between objects. In another aspect of the invention the plurality of interferometers are configured to optically compensate for any Doppler shift differences among the mixed optical interference signals.

Interferometric apparaten en methodologie voor de controle van de relatieve motie onder voorwerpen, bij voorkeur dat van masker en wafeltjestadia in photolithographic processen. Het apparaat bestaat uit een meerderheid van interferometers met elk die werkt een gemengd optisch interferentiesignaal te verstrekken dat faseinformatie indicatief van de motie van een overeenkomstig voorwerp bevat. De elektro interferentiesignalen worden geproduceerd van de optische interferentiesignalen, en één hiervan wordt gewijzigd om om het even welke de verschuivingsverschillen van Doppler onder de elektrointerferentiesignalen te compenseren die door verschillen in aangewezen relatieve tarieven van motie in de voorwerpen worden veroorzaakt. Een mixer ontvangt de elektrointerferentiesignalen en het gewijzigde elektrointerferentiesignaal en produceert een signaal dat van de output elektrointerferentie informatie over de relatieve motie tussen voorwerpen bevat. In een ander aspect van de uitvinding wordt de meerderheid van interferometers gevormd om om het even welke de verschuivingsverschillen van Doppler onder de gemengde optische interferentiesignalen optisch te compenseren.

 
Web www.patentalert.com

< Active filter for reduction of common mode current

< Magnetic device for a magnetic trip unit

> Resolution enhancement of compressed image data

> Method for generating trapping contours in a print page

~ 00133