A method of operating vacuum processing equipment that includes multiple
sets of apparatus for performing a succession of different processes on
individual wafers, an apparatus for transporting said wafers, and an
apparatus for controlling said processing apparatus sets and said
transport apparatus, and has at least two sets of wafer processing routes
including multiple sets of said processing apparatus; wherein it is
possible to judge whether each set of said processing apparatus for
performing various processes is in a valid or invalid status for
operation, to electrically disconnect only the processing apparatus whose
operational status has been judged to be invalid, to reconstruct said
processing routes by using the processing apparatus whose operational
status has been judged to be valid, and to process said wafers by using
only said processing apparatus which is valid for operation.
Um método de operar o equipamento processando do vácuo que inclui jogos múltiplos dos instrumentos para executar uma sucessão de processos diferentes em wafers individuais, de um instrumento para transportar wafers ditos, e de um instrumento para controlar jogos processando ditos do instrumento e de instrumentos ditos do transporte, e tem ao menos dois jogos do wafer processar rotas including jogos múltiplos de instrumentos processando ditos; wherein é possível julgar se cada jogo de instrumento processando dito para executar vários processos está em um status válido ou inválido para a operação, desconectar eletricamente somente o instrumento processando cujo o status operacional foi julgado para ser inválido, para reconstruct processar dito distribui usando o instrumento processando cujo o status operacional foi julgado para ser válido, e para processar wafers ditos usando-se dito somente processando o instrumento que é válido para a operação.
