Atomic lithography for depositing atoms on a substrate is carried out by
forming an atomic beam, and directing it toward a substrate, and providing
converging laser beams above a surface of the substrate, wherein the laser
beams are modulated by at least one spatial light modulator through which
the laser beam passes to form at least one high intensity optical spot by
interference to selectively focus the atomic beam. The optical spot and
focused atomic beam can be translated in a selected pattern by appropriate
control of the individual pixel elements in the spatial light modulator.
An atomic lithography system that can be configured to form arbitrary
two-dimensional nanostructures on a substrate may include at least one
spatial light modulator and lenses positioned adjacent the at least one
spatial light modulator. The lenses and the at least one spatial light
modulator are configured to selectively form a high intensity optical spot
to focus atoms from an atomic beam onto the substrate.
O lithography atômico para átomos depositando em uma carcaça é realizado dando forma a um feixe atômico, e dirigindo o para uma carcaça, e fornecer feixes de laser convergentes acima de uma superfície da carcaça, wherein os feixes de laser são modulados ao menos por um modulador claro spatial através de que o feixe de laser passa ao formulário ao menos um ponto ótico da intensidade elevada pela interferência a seletivamente focaliza o feixe atômico. O ponto ótico e o feixe atômico focalizado podem ser traduzidos em um teste padrão selecionado pelo controle apropriado dos elementos individuais do pixel no modulador claro spatial. Um sistema atômico do lithography que possa ser configurarado para dar forma a nanostructures bidimensionais arbitrários em uma carcaça pode incluir ao menos um modulador claro spatial e lentes posicionou adjacente o ao menos um modulador claro spatial. As lentes e o ao menos um modulador claro spatial são configurarados para dar forma seletivamente a um ponto ótico da intensidade elevada para focalizar átomos de um feixe atômico na carcaça.
