Pixel electrode fabricating processes are remarkably reduced. A pixel
electrode 22 is formed without using any vacuum film forming apparatus by
employing a sol-gel material and coating an insulating substrate with the
sol-gel material by a spin-coating method or a dipping method, and this
allows the fabricating processes to be reduced. During this course, by
forming the pixel electrode before the formation of a scanning electrode
23, signal wiring lines and a TFT 24, the electrode wiring and the TFT 24
suffer no thermal damage even if they have a heat resistance temperature
of about 350.degree. C. Furthermore, by using a sol-gel material having
photosensitivity, patterning processes are reduced by the elimination of
the photoresist patterning process and the etching process. An investment
for the equipment of a fabricating apparatus can thus be reduced to allow
the cost reduction of the active matrix substrate itself to be achieved.
Des processus fabriquants d'électrode de Pixel sont remarquablement réduits. Une électrode 22 de Pixel est formée sans employer n'importe quel film de vide formant l'appareil en utilisant un matériel de solénoïde-gel et en enduisant un substrat isolant du matériel de solénoïde-gel par une méthode tourner-enduisante ou une méthode de plongement, et ceci permet aux processus fabriquants d'être réduits. Pendant ce cours, en formant l'électrode de Pixel avant la formation d'une électrode 23 de balayage, les lignes de câblage de signal et un TFT 24, le câblage et les TFT 24 d'électrode ne subissent aucun dommage thermique même si elles ont une température de résistance thermique environ de 350.degree. C. En outre, en employant un matériel de solénoïde-gel ayant la photosensibilité, des processus modelants sont réduits par l'élimination du processus modelant de vernis photosensible et du processus gravure à l'eau-forte. Un investissement pour l'équipement d'un appareil fabriquant peut être réduit ainsi pour permettre à la réduction des coûts du substrat actif de matrice elle-même d'être réalisé.
