A method is provided that allows a simple and inexpensive apparatus to
measure the uniformity of the height-directional positions of spheres or
hemispheres such as bump electrodes of a semiconductor device. The degree
of focus is calculated from an image of bump electrodes 11a and 11b
acquired at a first focusing position F1 using an imaging system. After
that, the bump electrodes 11a and 11b and the imaging system is relatively
moved closer or farther, and then the degree of focus is calculated from
an image acquired at a second focusing position F2. The degrees of focus
at these two focusing positions F1 and F2 are compared with each other. As
a result, detected are the contour lines of the horizontal cross sections
of the bump electrodes 11a and 11b at the height (F1+F2)/2 of the position
of equal degree of focus indicated by PQ. On the basis of the shapes
and/or sizes thereof, the height-directional positions of the bump
electrodes 11a and 11b are measured. According to this method, the
uniformity of the height-directional positions of the bump electrodes 11a
and 11b are also measured.
Um método é contanto que permite um instrumento simples e barato medir a uniformidade das posições altura-direcionais das esferas ou dos hemisférios tais como os elétrodos da colisão de um dispositivo de semicondutor. O grau de foco é calculado de uma imagem dos elétrodos 11a e 11b da colisão adquiridos em uma primeira posição focalizando F1 usando um sistema da imagem latente. Após o esse, os elétrodos 11a da colisão e 11b e o sistema da imagem latente são movidos relativamente mais perto ou mais distante, e o grau de foco é calculado então de uma imagem adquirida em uma segunda posição focalizando F2. Os graus de foco nestas duas posições focalizando F1 e F2 são comparados com se. Em conseqüência, detectadas são as linhas do contorno das seções transversais horizontais dos elétrodos 11a e 11b da colisão na altura (F1+F2)/2 da posição do grau igual de foco indicado por PQ. Na base das formas e/ou dos tamanhos disso, as posições altura-direcionais dos elétrodos 11a da colisão e 11b são medidos. De acordo com este método, a uniformidade das posições altura-direcionais dos elétrodos 11a da colisão e 11b são medidos também.
