Semiconductor processing tool alignment technique implemented in a FIMS system

   
   

One or more mounting registration points provide alignment between a FIMS system and a specimen handling system that delivers a specimen retrieved from a specimen transport box. The specimen handling system includes one or more mounting points, each cooperating with an alignment fixture to immovably secure the specimen handling system to the FIMS system at a corresponding mounting registration point. This mounting technique provides automatic alignment of the specimen handling system to each mounting registration point of the FIMS system.

Één of meerdere opzettende registratiepunten verstrekken groepering tussen een systeem FIMS en een specimen behandelend systeem dat een specimen levert dat van een doos van het specimenvervoer wordt teruggewonnen. Het specimen behandelende systeem omvat één of meerdere opzettende punten, elk die met een groeperingsinrichting samenwerkt het specimen behandelende systeem aan het systeem FIMS op een overeenkomstig opzettend registratiepunt immovably te beveiligen. Deze opzettende techniek verstrekt automatische groepering van het specimen behandelende systeem aan elk opzettend registratiepunt van het systeem FIMS.

 
Web www.patentalert.com

< Distribution system

< Spinneret hole configuration for preventing bending of bicomponent extrudate

> Luminous composite fabric and garment

> Water-and oil-repellency imparting urethane oligomers comprising perfluoroalkyl moieties

~ 00129