Management system and apparatus, method therefor, and device manufacturing method

   
   

A semiconductor device manufacturing apparatus management system includes a semiconductor device manufacturing apparatus which operates in accordance with a parameter, an obtaining device for obtaining evaluation values of an operation result of the semiconductor device manufacturing apparatus corresponding to a plurality of parameter values of the parameter, a holding device for holding the evaluation values obtained by the obtaining device for each object to be processed by the semiconductor device manufacturing apparatus, and an optimization device for analyzing the evaluation values held by the holding device. The optimization device optimizes the parameter on the basis of at least one of a sensitivity representing a change degree of the evaluation values upon the change in the parameter, and a variation amount of the evaluation values for each object to be processed.

Un système de gestion d'appareillage de fabrication de dispositif de semi-conducteur inclut un appareillage de fabrication de dispositif de semi-conducteur qui fonctionne selon un paramètre, un dispositif d'obtention pour obtenir des valeurs d'évaluation d'un résultat d'opération de l'appareillage de fabrication de dispositif de semi-conducteur correspondant à une pluralité de valeurs de paramètre du paramètre, un dispositif se tenant pour juger les valeurs d'évaluation obtenues par le dispositif d'obtention pour que chaque objet soit traité par l'appareillage de fabrication de dispositif de semi-conducteur, et un dispositif d'optimisation pour analyser les valeurs d'évaluation tenues par le dispositif se tenant. Le dispositif d'optimisation optimise le paramètre sur la base au moins d'un d'une sensibilité représentant un degré de changement des valeurs d'évaluation sur le changement du paramètre, et une quantité de variation des valeurs d'évaluation pour que chaque objet soit traité.

 
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< Image forming apparatus having function of automatically selecting one of sheet feeders, method of controlling the image forming apparatus and storage medium

< Image vibration prevention apparatus

> Image forming apparatus having charging rotatable member

> Image processor for processing reservation and information processor for requesting reservation

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