One aspect of the present invention relates to a system and method for
detecting defects on a reticle by inspecting latent images printed on a
resist wafer by the reticle. The system includes a wafer having a printed
photoresist layer formed thereon, a latent image inspection system
connected to the wafer exposure system for examining the printed
photoresist layer in order to determine whether a reticle employed to
print the photoresist layer is defective, and a processor for receiving
data from the inspection system in order to verify the presence of defects
on the reticle. The method involves printing a first latent image, a
second latent image, and a third latent image on a resist wafer using a
reticle, and comparing the three latent images to one another to determine
whether the reticle is defective. Comparison of the latent images may be
facilitated by employing an optical system programmed to perform such
comparisons.
Één aspect van de onderhavige uitvinding heeft op een systeem betrekking en de methode om tekorten op een dradenkruis te ontdekken door latente beelden te inspecteren die op worden gedrukt verzet zich tegen wafeltje door het dradenkruis. Het systeem omvat een wafeltje dat een gedrukte photoresist daarop gevormde laag heeft, een systeem van de latent beeldinspectie dat aan het systeem van de wafeltjeblootstelling om de gedrukte photoresist laag wordt aangesloten te onderzoeken om te bepalen of een dradenkruis dat wordt aangewend om de photoresist laag te drukken, en een bewerker voor het ontvangen van gegevens van het inspectiesysteem om de aanwezigheid van tekorten op het dradenkruis te verifiëren gebrekkig is. De methode houdt de druk van een eerste latent beeld, een tweede latent beeld in, en een derde latent beeld op verzet zich tegen wafeltje gebruikend een dradenkruis, en elkaar vergelijkend de drie latente beelden aan om te bepalen of het dradenkruis gebrekkig is. De vergelijking van de latente beelden kan worden vergemakkelijkt door een optisch systeem aan te wenden dat wordt geprogrammeerd om dergelijke vergelijkingen uit te voeren.
