There is provided an electric discharge gas laser comprising a housing, a
rotating fan, a bearing device and a control. The housing contains a laser
gas. The rotating fan is provided in the housing to circulate the gas in
the housing. The bearing device magnetically supports a rotating shaft.
The bearing device is provided with a sensor device comprising a sensor
and a signal processor. The sensor senses the position of the rotating
shaft to generate signals indicating the position of the rotating shaft.
The signal processor receives and processes the signals delivered from the
sensor to output processed signals. The control is separated from the
bearing device and is functionally associated with the bearing device to
receive the processed signal from the sensor device for controlling the
bearing device on the basis of the processed signals.
Wird einem elektrischen Entladung Gaslaser zur Verfügung gestellt, der ein Gehäuse, einen drehenden Ventilator, eine Lagervorrichtung und eine Steuerung enthält. Das Gehäuse enthält ein Laser Gas. Der drehende Ventilator wird im Gehäuse zur Verfügung gestellt, um das Gas im Gehäuse zu verteilen. Die Lagervorrichtung stützt magnetisch eine drehende Welle. Die Lagervorrichtung wird mit einer Sensor-Vorrichtung versehen, die einen Sensor und einen Signalprozessor enthält. Der Sensor fragt die Position der drehenden Welle ab, um die Signale zu erzeugen, welche die Position der drehenden Welle anzeigen. Der Signalprozessor empfängt und verarbeitet die Signale, die vom Sensor an Ausgang verarbeitete Signale geliefert werden. Die Steuerung wird von der Lagervorrichtung getrennt und verbundenIST funktionell mit der Lagervorrichtung, um das verarbeitete Signal von der Sensor-Vorrichtung für das Steuern der Lagervorrichtung auf der Grundlage von die verarbeiteten Signale zu empfangen.
