A method of manufacturing a microlens includes: forming on a transparent
substrate a first film which has an etching rate higher than the
transparent substrate, forming on the first film a mask in which a pit is
provided at a position corresponding to a center of the microlens
to-be-formed, and wet-etching the first film and the transparent substrate
through the mask, to thereby excavate in the transparent substrate a
non-spherical recess which defines a curved surface of the microlens.
Un metodo di produzione microlens include: formando su un substrato trasparente una prima pellicola che ha un tasso acquaforte più superiore al substrato trasparente, formante sulla prima pellicola una mascherina in cui un pozzo è fornito ad una posizione che corrisponde ad un centro dei microlens-ESSERE-HA formato e bagnato-acquaforte la prima pellicola ed il substrato trasparente attraverso la mascherina, quindi per scavare nel substrato trasparente un l'incavo non-sferico che definisce una superficie curva dei microlens.
