Method and apparatus for multidomain data analysis

   
   

An optical measuring device generates a plurality of measured optical data from inspection of a thin film stack. The measured optical data group naturally into several domains. In turn the thin film parameters associated with the data fall into two categories: local and global. Local "genes" represent parameters that are associated with only one domain, while global genes represent parameters that are associated with multiple domains. A processor evolves models for the data associated with each domain, which models are compared to the measured data, and a "best fit" solution is provided as the result. Each model of theoretical data is represented by an underlying "genotype" which is an ordered set of the genes. For each domain a "population" of genotypes is evolved through the use of a genetic algorithm. The global genes are allowed to "migrate" among multiple domains during the evolution process. Each genotype has a fitness associated therewith based on how much the theoretical data predicted by the genotype differs from the measured data. During the evolution process, individual genotypes are selected based on fitness, then a genetic operation is performed on the selected genotypes to produce new genotypes. Multiple generations of genotypes are evolved until an acceptable solution is obtained or other termination criterion is satisfied.

Un dispositivo di misurazione di misura ottico genera una pluralità di dati ottici misurati da controllo di una pila della pellicola sottile. I dati ottici misurati raggruppano naturalmente in parecchi dominii. A loro volta i parametri della pellicola sottile si sono associati con l'entr di dati in due categorie: locale e globale. "i geni" locali rappresentano i parametri che sono associati con soltanto un dominio, mentre i geni globali rappresentano i parametri che sono associati con i dominii multipli. Un processor evolve i modelli per i dati connessi con ogni dominio, che i modelli sono confrontati ai dati misurati e una soluzione "il più bene misura" è fornita come il risultato. Ogni modello dei dati teorici è rappresentato "da un genotipo" di fondo che è un insieme ordinato dei geni. Per ogni dominio "una popolazione" dei genotipi è evoluta con l'uso di una procedura genetica. I geni globali sono permessi "migrano" fra i dominii multipli durante il processo di sviluppo. Ogni genotipo ha una idoneità associata di conseguenza basata su quanto i dati teorici previsti dal genotipo differiscono dai dati misurati. Durante il processo di sviluppo, i diversi genotipi sono selezionati hanno basato su idoneità, quindi un funzionamento genetico è realizzato sui genotipi selezionati per produrre i nuovi genotipi. Le generazioni multiple dei genotipi sono evolute fino ad ottenere una soluzione accettabile o l'altro test di verifica di termine sia soddisfatto.

 
Web www.patentalert.com

< Synchronous buck converter with output current sensing

< Apparatus and methods for silicon-on-insulator transistors in programmable logic devices

> Method and system for managing traffic in a packet network environment

> Apparatus and method for characterizing grooved journals

~ 00127