Methods and apparatuses for transporting a substrate plate efficiently, for
positioning the substrate plate to enable to minimize mechanical motions
and generation of vibration associated with conventional substrate
positioning, and for holding the substrate. For example, the present
exposure apparatus has a plurality of electrodes arranged along the
baseplate and a transport apparatus having a control apparatus to impress
a voltage on each electrode to first generate static charges in the
substrate plate, then to impress a voltage on each of the plurality of
electrodes so that the charge code of the electrodes is the same as the
charge code of the substrate plate, and to switch the voltage on the
electrodes in accordance with the time interval required to produce
dielectric polarization in the substrate plate. The substrate plate can be
transported by electrostatic forces at high speed without contacting the
baseplate.
Les méthodes et les appareils pour transporter un substrat plaquent efficacement, pour placer le plat de substrat pour permettre de réduire au minimum les mouvements mécaniques et la génération de la vibration liés au substrat conventionnel plaçant, et pour tenir le substrat. Par exemple, l'appareillage d'exposition actuel a une pluralité d'électrodes disposées le long de la plaque de base et un appareillage de transport ayant un appareillage de commande pour impressionner une tension sur chaque électrode à d'abord produit des frais statiques dans le plat de substrat, pour impressionner alors une tension sur chacune de la pluralité d'électrodes de sorte que le code de charge des électrodes soit identique comme le code de charge du plat de substrat, et pour commuter la tension sur les électrodes selon l'intervalle de temps requis pour produire la polarisation diélectrique dans le plat de substrat. Le plat de substrat peut être transporté par les forces électrostatiques à la grande vitesse sans entrer en contact avec la plaque de base.
