Extreme ultraviolet light is detected using a universal in-band detector
for detecting extreme ultraviolet radiation that includes: (a) an EUV
sensitive photodiode having a diode active area that generates a current
responsive to EUV radiation; (b) one or more mirrors that reflects EUV
radiation having a defined wavelength(s) to the diode active area; and (c)
a mask defining a pinhole that is positioned above the diode active area,
wherein EUV radiation passing through the pinhole is restricted
substantially to illuminating the diode active area.
La luz ultravioleta extrema se detecta el usar de un detector in-band universal para detectar la radiación ultravioleta extrema que incluye: (a) un fotodiodo sensible de EUV que tiene un área activa del diodo que genera una corriente responsiva a la radiación de EUV; (b) unos o más espejos que refleja la radiación de EUV que tiene un wavelength(s) definido al área activa del diodo; y (c) una máscara que define un agujero de alfiler que se coloca sobre el área activa del diodo, en donde la radiación de EUV que pasa con el agujero de alfiler se restringe substancialmente a iluminar el área activa del diodo.
